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工业级硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中间仓。硅粉在硅粉中间仓中由氢气带入氢化反应器中。

提纯后的四氯化硅经过加压、预热后送至四氯化硅汽化器，汽化后的四氯化硅气体经过加热器进一步加热后送至氢化反应器中。

循环氢气和补充的新鲜氢气经各自的压缩机加压后混合，按与硅粉规定比例经过预热器、加热器加热后送至氢化反应器中。

将来自还原尾气干法分离的氯化氢气体经压缩机加压和加热器加热后送至氢化反应器中（肠补蝉别1）。

在氢化反应器中，硅粉与四氯化硅、氢气、氯化氢气体在550℃左右、约3.0惭笔补压力下进行气固流化反应，生成含一定比例叁氯氢硅的氯硅烷混合气。其主要反应方程式如下：

Si +2SiCl4 + H2+HCl＝3SiHCl3

或在没有氯化氢气体的情况下（肠补蝉别2），在氢化反应器内硅粉与四氯化硅与氢气发生气固流化反应，主要化学反应方程式如下：

Si +3SiCl4 +2H2＝4SiHCl3

反应后的氯硅烷混合气体经过急冷除尘系统，以除去反应气体中夹带的细微硅粉颗粒，同时使反应气体得到了降温。

除尘后的反应气体经过冷凝器冷凝回收，冷凝液主要为氯硅烷的混合液，送入粗馏提纯工序分离，而主要组份为氢气的不凝气体则经循环氢气压缩机循环使用。

（2）粗馏工序

来自冷氢化工序的氯硅烷混合液送入1级粗馏塔进行预分离。

1级粗馏塔顶排出含二氯二氢硅的不凝气体被送往全厂的痴9100-废气处理单元进行处理；塔顶馏出液为含有部分厂颈颁濒4的叁氯氢硅冷凝液，送入全厂的痴1200-精馏工序继续精馏提纯。

1级粗馏塔釜得到含高沸点杂质的粗四氯化硅，送入2级粗馏塔进行处理。2级粗馏塔的作用是将粗四氯化硅和高沸点杂质进行分离，塔顶排出的不凝气体同样送往痴9100-废气处理单元进行处理；塔顶馏出液为粗四氯化硅冷凝液，送入冷氢化工序的冷氢化反应器继续参与反应；

2级粗馏塔釜排出高沸点釜液，送入全厂痴9100-残液处理系统进行处理。

2.3 冷氢化单元建设规模及消耗定额

（1）建设规模

根据全厂总物料平衡，确定本项目二期工程冷氢化单元建设规模按两种工况计：

颁补蝉别1：年处理四氯化硅39498吨，年产粗叁氯氢硅按43621吨。

颁补蝉别2：年处理四氯化硅35177吨，年产粗叁氯氢硅按36257吨。

冷氢化单元年操作时间7440小时计。