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减反射膜的作用是增加更多的光吸收，可以增大光电流。同时，减反射膜对硅片还有保护和钝化作用，可以增加电生电压，对提高光伏电池的电性能有很大帮助。现在的光伏电池均有减反射膜 ，不论是一线厂家或者二线厂家，普遍采用的是PECVD法沉积氮化硅膜。膜厚在78nm左右，折射率在2.06左右。